Critical Dimensions & Trenches Module

Analyse de dimensions critiques

Détecter rapidement et facilement pics et tranchées
Travailler avec des profils, séries de profils ou topographie (surfaces), y compris des données SPM multicanales ou de profilométrie
Calculer des paramètres relatifs à l’analyse des Dimensions Critiques : hauteur, DC supérieures/centrales/inférieures, angle de flanc, oscillation, ratio largeur/oscillation, etc.
Afficher la géométrie de surface et les valeurs pour chaque profil ou motif
Assurance qualité : Évaluer statistiquement chaque motif détecté
Option Affiner : améliorer l’analyse statistique en choisissant d’exclure certains profils aux valeurs aberrantes (largeur, hauteur, premiers ou derniers pics/tranchées, etc.)

N.-B. Les profils et surfaces doivent être correctement redressés avant de mener une analyse des Dimensions Critiques.

Rugosité du bord de ligne

Calculer les paramètres de rugosité de bord de ligne (LER) et de rugosité de largeur de ligne (LWR) sur les bords des bandes détectées dans des images SEM
Détecter des bandes par seuillage, filtre de Canny (pour compenser un effet de chargement inégal sur les bords) ou détecter des bandes entre les liserés (quand le niveau de gris varie légèrement)
Calculer des paramètres relatifs à l’analyse des Dimensions Critiques : Largeur de ligne/bande/motif, oscillation
Traiter de grandes quantités de données à l’aide des outils d’automatisation de Mountains® (plus de détails dans cet article)

Disponible comme module optionnel avec :

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